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    路透:ASML证实再多一款曝光机不能出口中国

    荷兰半导体设备供应商艾司摩尔(ASML)首次证实,美国去年10月祭出的规定,直接限制该公司对中国出口规格较低的NXT:1970i深紫外光曝光机,而这产品不在荷兰要求获得出口许可的范围内。

    环球网24日报导,荷兰半导体设备供应商艾司摩尔(ASML)首席执行官达森(Roger Dassen)当地时间24日发布2023年第四季及全年财报,指荷兰及美国最新颁布的出口管制法规已经生效,预期今年艾司摩尔不会获得向中国运送NXT:2000i及以上的浸润式深紫外光曝光机(DUV)的出口许可。

    达森又指,个别中国先进芯片制造晶圆厂将无法获得发运NXT:1970i及NXT:1980i浸润式深紫外光曝光机的许可证。

    路透25日报导,这是艾司摩尔首次公开证实,美国的规定直接限制该公司对中国出口规格较低的NXT:1970i曝光机,而这产品并不在荷兰要求获得出口许可的范围内。

    报导引述达森表示,仍然预期中国对较旧规格曝光机的需求将保持「非常非常稳定」。

    报导引述艾司摩尔首席执行官韦尼克(Peter Wennink)表示,中国会持续对较旧规格的半导体设备有需求,因为中国很多日常设备,及大型太阳能及电动车产业,也需要较旧规格的芯片,「他们完任依赖进口」。

    自从美国限制对中国半导体产品及设备出口,艾司摩尔从2019年起已限制向中国出售最先进的极紫外光曝光机(EUV)。

    据中国媒体财新报导,NXT:1970i首次出货的时间是2013年,是2016年首次出货的NXT:1980i的上一代产品。NXT:1970i不能出口到中国,意味着部分中国晶圆厂只能从艾司摩尔购得2013年首次出货的NXT:1965Ci曝光机,落后目前最先进的NXT:2100i五代。

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